| 发明名称 |
SENSING APPARATUS OF CHEMICAL NICK IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND SENSING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050121339(A) |
申请公布日期 |
2005.12.27 |
| 申请号 |
KR20040046425 |
申请日期 |
2004.06.22 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
JUNG, WON SUK |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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