| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR BREAKING IN MULTIPLE PAD CONDITIONING DISKS FOR USE IN A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050121628(A) |
申请公布日期 |
2005.12.27 |
| 申请号 |
KR20040075602 |
申请日期 |
2004.09.21 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
LUJAN RANDALL J. |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B1/00;B24B37/04;B24B53/00;B24B53/007;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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