摘要 |
La présente invention se rapporte un tampon de polissage (104, 300, 400, 500) pour polir une plaquette (112, 516) ou un autre article. Le tampon de polissage comprend une couche de polissage (108) ayant une région de polissage (164, 320, 420, 504) définie par des première et deuxième délimitations (168, 172), (312, 316), (412, 416), (508, 512) ayant des formes et des emplacements qui sont fonction de la dimension de la surface polie (116) de l'article poli et du type de polisseuse (100) utilisée. La région de polissage présente plusieurs zones (Z1-Z3) (Z1'-Z3') (Z1''-Z3'') (Z1'''-Z3''') contenant chacun des gorges correspondantes (148, 152, 156), (304, 308, 324), (404, 408, 424), (520, 524, 528) ayant des orientations choisies sur la base de la direction d'un ou plusieurs vecteurs de vitesse (V1-V4) (V1'-V4') (V1''-V4'') (V 1'''-V4''') de la plaquette de cette zone.
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