IMPLANTEUR IONIQUE FONCTIONNANT EN MODE PLASMA PULSE

摘要

La présente invention concerne un implanteur ionique IMP qui comporte une source plasma pulsée SPL, un plateau porte-substrat PPS et une alimentation ALT de ce plateau.Cet implanteur comporte de plus une capacité C reliée directement à la masse E et montée en aval de l'alimentation plateau ALT.L'invention vise également un procédé de mise en oeuvre de l'implanteur.