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发明名称 GAS EXHAUST AND APPARATUS FOR DEPOSITING HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050120119(A) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 KR20040045341 申请日期 2004.06.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, SUNG HO;HA, SANG CHEOL;KIM, HWA SIK;AHN, BYUNG HO;JEON, KYO JUN
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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