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Eine Verfeinerungsvorrichtung für Siliciumreste unter Verwendung eines Elektronenstrahls, welche geeignet ist, um Siliciumreste, die während der Herstellung von Siliciumprodukten, wie z. B. Siliciumwafern, gebildet werden, zu recyceln, weist eine Vakuumkammer, einen in der Vakuumkammer angebrachten Tiegel, einen Herd, welcher in der Nähe des Tiegels in der Vakuumkammer angebracht ist und körnige Siliciumreste aufnimmt und die körnigen Siliciumreste durch Bestrahlung mit einem Elektronenstrahl schmilzt und geschmolzenes Silicium dem Tiegel zuführt, und eine Rohmaterialzuführvorrichtung, welche in der Vakuumkammer angebracht ist und eine vorgeschriebene Menge der körnigen Siliciumreste aufbewahrt und die aufbewahrten körnigen Siliciumreste über eine Rutsche zuführt, auf.
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