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发明名称 Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69634289(T2) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 DE1996634289T 申请日期 1996.07.19
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 ICHIRO, KATAOKA;TAKAHIRO, MORI;SATORU, YAMADA;HIDENORI, SHIOTSUKA;AYAKO, KOMORI
分类号 H01L31/04;H01L31/042;H01L31/048;H01L31/052 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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