| 发明名称 |
Teststruktur zum Bestimmen eines Bereiches einer Deep-Trench-Ausdiffusion in einem Speicherzellenfeld |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10245534(B4) |
申请公布日期 |
2005.12.22 |
| 申请号 |
DE20021045534 |
申请日期 |
2002.09.30 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
FELBER, ANDREAS;ROSKOPF, VALENTIN |
| 分类号 |
H01L21/8242;H01L23/544;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/8242 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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