发明名称 Ultraschallreiniger und diesen enthaltende Nassbehandlungsdüse
摘要
申请公布号 DE60017614(T2) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 DE20006017614T 申请日期 2000.03.07
申请人 ALPS ELECTRIC CO., LTD. 发明人 ONO, SHOICHI;MITSUMORI, KENICHI;KASAMA, YASUHIKO;HAGA, NOBUAKI;SOEJIMA, JUNICHIRO;TAKHASHI, NORIHISA;FUJIE, AKIO;IWASAKI, MINEO
分类号 B08B3/12;G02F1/13;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12;B08B3/02 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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