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发明名称 GAS FLOW PATH CONTROL TYPE BAFFLE FOR PROCESSING CHAMBER OF FPD MANUFACTURING MACHINE
摘要
申请公布号 KR20050119767(A) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 KR20040044856 申请日期 2004.06.17
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 LEE, YOUNG JONG;CHOI, JUN YOUNG;JEONG, HONG GI
分类号 G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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