Optisches Abbildungssystem mit Polarisationsmitteln,申请号DE20025004916-传众专利搜索

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发明名称	Optisches Abbildungssystem mit Polarisationsmitteln
摘要
申请公布号	DE50204916(D1)	申请公布日期	2005.12.22
申请号	DE20025004916	申请日期	2002.04.19
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	GERHARD, DR.
分类号	G02B5/30;G02B13/14;G02B13/24;G02B27/28;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G02B5/30
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