发明名称 METHODE UND APPARATFÜR DIE GLEICHMÄ IGE GASZUFUHR ZU SUBSTRATEN BEI CVD UND PECVD VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60024146(D1) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 DE20006024146 申请日期 2000.07.06
申请人 GENUS, INC. 发明人 DUNHAM, WILLIAM
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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