| 发明名称 |
Verfahren für den Betrieb eines Hochleistungs-Elektronenstrahls |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE19745771(B4) |
申请公布日期 |
2005.12.22 |
| 申请号 |
DE19971045771 |
申请日期 |
1997.10.16 |
| 申请人 |
UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH |
发明人 |
BAEHR, MARTIN;LAUX, ERIK |
| 分类号 |
C23C14/30;H01J37/302;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/305 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
