| 发明名称 |
Neue Technologie zur Bildung eines flaschenförmigen Tiefgrabens |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE19938481(B4) |
申请公布日期 |
2005.12.22 |
| 申请号 |
DE19991038481 |
申请日期 |
1999.08.13 |
| 申请人 |
MOSEL VITELIC INC., HSINCHU;PROMOS TECHNOLOGIES, INC.;SIEMENS AG |
发明人 |
MEI, LEN |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
