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发明名称 CLEANING APPARATUS OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20050120178(A) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 KR20040045436 申请日期 2004.06.18
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SONG, HOON
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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