| 发明名称 |
EXCIMER LASER MIT ERHÖHTER STABILITÄT DER SPEKTRALEN BANDBREITE UND DES LASERSTRAHLS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69832365(D1) |
申请公布日期 |
2005.12.22 |
| 申请号 |
DE19986032365 |
申请日期 |
1998.01.14 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
FOMENKOV, V.;SANDSTROM, L. |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01S3/08;H01S3/1055;H01S3/134;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/08;E04H15/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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