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发明名称 Verfahren zur Haltung und Ziehung eines Einkristalls
摘要
申请公布号 DE69731699(T2) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 DE1997631699T 申请日期 1997.08.26
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 KIMURA, MASANORI;MURAOKA, SHOZO
分类号 C30B15/00;C30B15/24;C30B15/30;C30B29/06;C30B33/04;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/30 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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