| 主权项 |
1.一种用于防止暴露于劣质流体之感则器污染的 方法,该劣质流体污染为流体流过一结合于主通道 及其限制部分之旁路通道的结果,该方法包含下列 步骤: 透过该主通道及其限制部分输送该劣质流体,其中 一部分该劣质流体透过该旁路通道接触该感测器; 以及 引入一辅助之净化流体流,其中该净化流体相容于 该劣质流体之组成物,使得该净化流体以相反于该 劣质流体而流过该感测器,藉此防止该劣质流体接 触及劣化该感测器。 2.如申请专利范围第1项之方法,进一步包含下列步 骤: 建构该辅助之净化流体流包含一辅助之净化流以 防止该感测器之污染。 3.如申请专利范围第1项之方法,其中该净化流体包 含一相容于该劣质流体之组成物之净化气体。 4.如申请专利范围第1项之方法,进一步包含下列步 骤: 利用至少一调节器阀来调整该辅助之净化流体流 。 5.如申请专利范围第1项之方法,进一步包含下列步 骤: 利用至少一调节器阀来调整相关于该净化流体流 之压力。 6.如申请专利范围第1项之方法,进一步包含下列步 骤: 施加该辅助之净化流体流而以相反于该劣质流体 来流过该感测器,使得该净化流体对称地流动。 7.如申请专利范围第1项之方法,其中该感测器包含 一流量感测器。 8.如申请专利范围第1项之方法,其中该感测器包含 一微感测器。 9.如申请专利范围第1项之方法,进一步包含下列步 骤: 建构该流量感测器为一单向感测器;以及 接着藉添加一非对称流量偏压于复数个相关之埠 而转换该单向感测器为一双向感测器。 10.一种用于防止暴露于劣质流体之流量感测器污 染的方法,该劣质流体污染为流体流过一结合于主 通道及其限制部分之旁路通道的结果,该方法包含 下列步骤: 透过该主通道及其限制部分输送该劣质流体,其中 一部分该劣质流体透过该旁路通道接触该流量感 测器;引入一相容于该劣质流体之组成物的净化气 体流,使得该净化气体以相反于该劣质流体而流过 该感测器;以及 利用至少一调节器阀来调整该净化气体之流量及 压力,藉此防止该劣质流体接触及劣化该流量感测 器。 11.一种用于防止暴露于劣质流体之流量感测器污 染的方法,该劣质流体污染为流体流过一结合于主 通道及其限制部分之旁路通道的结果,该方法包含 下列步骤: 透过该主通道及其限制部分输送该劣质流体,其中 一部分该劣质流体透过该旁路通道接触该流量感 测器; 引入一相容于该劣质流体之组成物的净化气体流, 使得该净化气体以相反于该劣质流体而流过该感 测器; 施加该净化气体流而对称地流动;以及 利用至少一调节器阀来调整该净化气体之流量及 压力,藉此防止该劣质流体接触及劣化该流量感测 器。 12.一种用于防止暴露于劣质流体之感测器污染的 系统,该劣质流体污染为流体流过一结合于主通道 及其限制部分之旁路通道的结果,该系统包含: 该劣质流体,透过该主通道及其限制部分输送,其 中一部分该劣质流体透过该旁路通道接触该感测 器;以及 一辅助之净化流体流,其系相容于该劣质流体之组 成物,使得该净化流体以相反于该劣质流体而流过 该感测器,藉此防止该劣质流体接触及劣化该感测 器。 13.如申请专利范围第12项之系统,其中该辅助之净 化流体流包含一辅助之净化流以防止该感测器之 污染。 14.如申请专利范围第12项之系统,其中该净化流体 包含一相容于该劣质流体之组成物之净化气体。 15.如申请专利范围第12项之系统,其中该辅助之净 化流体流可利用至少一调节器阀来调整。 16.如申请专利范围第12项之系统,其中相关于该净 化流体流之压力可利用至少一调节器阀来调整。 17.如申请专利范围第12项之系统,其中该辅助之净 化流体流系引入而以相反于该劣质流体来流过该 感测器,使得该净化流体对称地流动。 18.如申请专利范围第12项之系统,其中该感测器包 含一流量感测器。 19.如申请专利范围第12项之系统,其中该感测器包 含一微感测器。 20.如申请专利范围第12项之系统,其中该流量感测 器包含一单向感测器,可藉添加一非对称流量偏压 于相关之埠而转换为一双向感测器。 21.一种用于防止暴露于劣质流体之流量感测器污 染的系统,该劣质流体污染为流体流过一结合于主 通道及其限制部分之旁路通道的结果,该系统包含 : 该劣质流体,透过该主通道及其限制部分输送,其 中一部分该劣质流体透过该旁路通道接触该流量 感测器; 一净化气体流,相容于该劣质流体之组成物,其中 该净化气体以相反于该劣质流体而流过该感测器; 以及 其中该净化气体之流量及压力可利用至少一调节 器阀来调整,藉此防止该劣质流体接触及劣化该流 量感测器。 22.一种用于防止暴露于劣质流体之微感测器污染 的系统,该劣质流体污染为流体流过一结合于主通 道及其限制部分之旁路通道的结果,该系统包含: 该劣质流体,透过该主通道及其限制部分输送,其 中一部分该劣质流体透过该旁路通道接触该微感 测器; 一净化气体流,相容于该劣质流体之组成物,其中 该净化气体以相反于该劣质流体而对称地流过该 感测器;以及 其中该净化气体之流量及压力可利用至少一调节 器阀来调整,藉此防止该劣质流体接触及劣化该微 感测器。 图式简单说明: 图1描绘根据本发明较佳实施例之有关劣质流体之 流量感测器的概略图; 图2描绘根据本发明选择性实施例之有关其中代表 双向流动之劣质流体之流量感测器的选择性概略 图; 图3描绘根据本发明选择性实施例之有关其中代表 单向流动之劣质流体之流量感测器的选择性概略 图; 图4描绘根据本发明选择性实施例之有关劣质流体 之流量感测器的概略图;以及 图5说明一可保护以免于遭受劣质环境之感测器的 描绘性实例,描绘可结合于本发明较佳或选择性实 施例之矽微感测器晶粒之顶视图,显示微膜加热及 感测元件。 |
