和波导型光探测器管芯兼容的准共面波导及其制作方法

摘要

本发明公开了一种和波导型光探测器管芯兼容的准共面波导及其制作方法；涉及一种共面波导(CPW)，尤其涉及一种在半绝缘半导体基片上、和光通信用超高速率侧面进光的波导型光探测器管芯兼容的准CPW。该准CPW是一种近于平面的微波传输线，其结构为在掺铁的半绝缘半导体基片上，通过介质镀膜、光刻、电子束蒸发和金属剥离等技术，形成近于平面的三叉状微波传输线；其中心为信号线，两旁为地线；中心的信号线比两旁的地线低；而且，在设计和工艺制作时，采用双联体的准CPW结构。该准CPW具有结构简单、制作容易、解理方便、和侧面进光的波导型光探测器管芯兼容，便于组装和光纤耦合、成品率高等特点。

主权项

1、一种和波导型光探测器管芯兼容的准共面波导，其特征在于：为一种在半绝缘半导体基片InP上的、近于平面的三叉状微波传输线；其中心为信号线(a)，两旁为地线(b)；具体地，①基片InP为掺铁的半绝缘半导体材料；②准共面波导由2条等平面的地线(b)和1条位于中心的、比2条地线(b)略低的传输速率为28Gb/s--40Gb/s的信号线(a)构成；③信号线(a)、地线(b)的头部呈劈尖状，后续部分为两边平行的条状；④准共面波导为双联体结构。