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经营范围
发明名称
AN APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AT SAFETY
摘要
申请公布号
KR100521343(B1)
申请公布日期
2005.12.21
申请号
KR19980045139
申请日期
1998.10.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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