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发明名称 METHOD OF DISPOSING LSI
摘要
申请公布号 EP1083598(A4) 申请公布日期 2005.12.21
申请号 EP20000911324 申请日期 2000.03.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SAKIYAMA, SHIRO;KINOSHITA, MASAYOSHI;KAJIWARA, JUN;YAMAMOTO, HIROO;SATOMI, KATSUJI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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