发明名称 LEAKY GUIDED-WAVE MODES USED IN INTERFEROMETRIC CONFOCAL MICROSCOPY TO MEASURE PROPERTIES OF TRENCHES
摘要
申请公布号 EP1606575(A2) 申请公布日期 2005.12.21
申请号 EP20040705634 申请日期 2004.01.27
申请人 ZETETIC INSTITUTE 发明人 HILL, HENRY, ALLEN
分类号 G01B9/04;A45D8/00;G02B17/08;G02B21/00;G02B27/10;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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