一种基于聚合体薄膜微型细胞夹持器及制备工艺

摘要

本发明提出一种MEMS工艺制备的用于细胞夹持的基于聚合体薄膜微型细胞夹持器。该夹持器可具有多个悬臂梁结构(类同手爪结构)。每个悬臂梁使用涂覆工艺构成由金/NAFION/金的三层结构，悬臂梁一端作为固定端与基底连接。它可以工作在普通的水溶液中。在电极及连线上使用PARYLENE C薄膜作为保护，使被其覆盖的结构免受周围溶液的侵蚀。相比目前商用的NAFION膜构成的微执行器及其他现有技术构成的微夹持器，本微夹持器不仅体积小(结构尺寸约为200μm×800μm×200nm)，致动位移大(可卷曲)，而且工作电压低、功耗小。

主权项

1.一种基于聚合体薄膜微型细胞夹持器，其特征在于：具有多个悬臂梁，每个悬臂梁均为两层金膜材料之间加设一层聚合体膜材料的三层结构，其一端作为固定端与基底连接；在基底与金膜材料之间设有氧化层；所述聚合体为NAFION。