发明名称 Measurement probe for measurement of the thickness of thin layers
摘要
申请公布号 GB2397652(B) 申请公布日期 2005.12.21
申请号 GB20030025702 申请日期 2003.11.04
申请人 * IMMOBILIENGESELLSCHAFT HELMUT FISCHER GMBH & CO.KG 发明人 BERNHARD * SCHERZINGER;WOLFGANG * KINDLER
分类号 G01B7/06;G01B3/22;G01B7/00;G01B21/08;H05K1/14;(IPC1-7):G01B7/06 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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