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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR TREATMENT
摘要
申请公布号 EP1361604(A4) 申请公布日期 2005.12.21
申请号 EP20020716335 申请日期 2002.01.22
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KATO, YOSHIHIRO;GOTO, TADASHI;YOSHITAKA, HIKARU;AOKI, MAKOTO
分类号 C23C16/32;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/455 主分类号 C23C16/32
代理机构 代理人
主权项
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