高载微构件动态特性测试装置

摘要

本发明高载微构件动态特性测试装置，是属于微机电系统中动态测试装置领域。一种高载微构件动态特性测试装置，由高速转台、微结构激励、微结构夹持、光学振动测试装置、光纤旋转接头组成。高速转台的一端是转臂，另一端为轴套形状。真空室通过螺栓安装在高速转台的转臂上，光纤旋转接头安装在高速转台轴套中；隔振泡沫、减振质量、压电激振器、微构件、光纤探头夹持装置和光纤探测头均安装在真空室内。使用该发明可以测试常态、动态下结构的动态特性，便于分析研究。其结构简单、易于调试。扩充了仪器的功能，测试精度较高；可用它对微加速度传感器进行标定。

主权项

1.一种高载微构件动态特性测试装置，由高速转台、微结构激励、微结构夹持、光学振动测试装置、光纤旋转接头组成；其特征是：高速转台(1)的一端是转臂，另一端为轴套形状；真空室(2)通过螺栓安装在高速转台(1)的转臂上，光纤旋转接头(10)安装在高速转台(1)的轴套中；隔振泡沫(3)、减振质量(4)、压电激振器(5)、微构件(6)、光纤探头夹持装置(7)和光纤探测头(8)均安装在真空室(2)内，在真空室(2)内的隔振泡沫(3)一面通过胶粘接在高速转台(1)上，另一面通过胶粘接减振质量(4)，压电激振器(5)通过胶粘接在减振质量块(4)上，待测微构件(6)通过胶粘接在压电激振器(5)上；光纤探头夹持装置(7)通过螺钉固定在减振质量(4)上，光纤探测头(8)通过螺纹连接固定在光纤探头夹持装置(7)上；光纤探测头(8)由光纤(9)连接至光纤旋转接头(10)；光纤旋转接头(10)通过螺纹连接在高速转台(1)的轴套中，光纤旋转接头(10)的输出端连接至激光多普勒测振仪(11)。