气体产生量少的薄膜

摘要

提供一种薄膜，通过预先从薄膜本身排除会导致生成析出物的物质，即使是采用KrF或是ArF受激准分子激光来进行曝光，在激光照射时、以及在保管中，也可以防止在光罩上形成异物析出物，能够长时间维持正确的图案精度。在薄膜的制造过程中，通过将所使用的构件或是成品加热或是置于减压下等，以预先除去从所使用的构件或是成品发生的物质。

主权项

1.一种薄膜，其特征在于，将从薄膜发生的有机化合物成分在24小时、室温(26℃)下以100ml/min的氮气流进行捕捉，用2，6-二苯基对苯醚系的多孔聚合物珠吸附剂进行吸附，加热260℃×15分钟使其进行热脱附，分析所产生的气体，所检测出的挥发性有机化合物的总重量相对于薄膜重量在0.5ppm或以下。