| 主权项 |
1.一种光阻剂组合物，包括聚合粘合剂、光活性成分、光阻剂清除增进剂及非必要的交联剂，其中，具有下式结构的光阻剂清除增进剂与聚合粘合剂、非必要的交联剂或两者都不聚合，<img file="C011447430002C1.GIF" wi="172" he="216" />其中，各个X独立为氯、溴、氟或碘；Z＝氰基、芳基、取代芳基、C(Y)-R<sup>1</sup>、C≡C-R<sup>2</sup>及C(R<sup>3</sup>)＝CR<sup>4</sup>R<sup>5</sup>；Y＝氧或硫；R＝Z、氢、(C<sub>1</sub>-C<sub>4</sub>)烷基、(C<sub>1</sub>-C<sub>4</sub>)烷氧基、取代(C<sub>1</sub>-C<sub>4</sub>)烷基、取代(C<sub>1</sub>-C<sub>4</sub>)烷氧基；R<sup>1</sup>＝(C<sub>1</sub>-C<sub>8</sub>)烷基、(C<sub>1</sub>-C<sub>8</sub>)烷氧基、取代(C<sub>1</sub>-C<sub>8</sub>)烷基、取代(C<sub>1</sub>-C<sub>8</sub>)烷氧基、芳基或取代芳基；R<sup>2</sup>＝氢、(C<sub>1</sub>-C<sub>8</sub>)烷基、取代(C<sub>1</sub>-C<sub>8</sub>)烷基、芳基或取代芳基；R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>与R<sup>5</sup>独立地选自氢、卤素或R<sup>1</sup>，其中，光阻剂清除增进剂选自α-三氯甲基苯甲基乙酸酯、α-三溴甲基苯甲基乙酸酯、α-三碘甲基苯甲基乙酸酯、三氯甲基烯丙基乙酸酯、三溴甲基烯丙基乙酸酯、α-三氯甲基苯甲基丙酸酯、α-三溴甲基苯甲基丙酸酯、α-三碘甲基苯甲基丙酸酯、三氯甲基烯丙基丙酸酯、三溴甲基烯丙基丙酸酯、α-三氯甲基苯甲基苯甲酸酯、α-三溴甲基苯甲基苯甲酸酯、α-三碘甲基苯甲基苯甲酸酯、三氯甲基烯丙基苯甲酸酯、三溴甲基烯丙基苯甲酸酯或α-溴二氯甲基苯甲基乙酸酯。 |
