显微机械加工的移动设备

摘要

一个具有固定电极底板8和一个移动电极板2的显微机械加工的移动设备，其中移动电极板2通过锚定部分23和弯曲部分21由支撑框架10所支撑，并被保持在距固定电极底板8一个预定距离处，其中来自AC驱动电路60的AC驱动电压被施加到固定电极底板8和移动电极板2上，以通过静电力来驱动移动电极板2与固定电极底板8的接触，并保持它们之间的接触。

主权项

1.一种显微机械加工的移动设备，包括：固定电极装置；与所述固定电极装置相距一定距离设置的移动电极装置，所述移动电极装置被弹性支撑；和一个连接到固定电极装置和移动电极装置上的AC驱动电路，用于响应输入控制信号而产生施加到所述固定电极装置和移动电极装置上的AC驱动电压；其特征在于所述AC驱动电路响应所述输入控制信号将AC驱动电压施加到所述固定电极装置和移动电极装置上，从而通过静电力驱动所述移动电极装置与所述固定电极板进入和脱离接触。