发明名称 METHOD FOR CALIBRATING A DEVICE, METHOD FOR CALIBRATING A NUMBER OF DEVICES LYING SIDE BY SIDE AS WELL AS AN OBJECT SUITABLE FOR IMPLEMENTING SUCH A METHOD
摘要
申请公布号 EP1606838(A1) 申请公布日期 2005.12.21
申请号 EP20040721978 申请日期 2004.03.19
申请人 ASSEMBLEON N.V. 发明人 HORIJON, JOSEPH, L.;DE BOCK, ALAIN;PETIT, RITA, M., A., L.
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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