液晶显示器的薄膜晶体管结构及其制造方法

摘要

本发明提供了一种应用于液晶显示器制造中的薄膜晶体管结构及其制造方法，利用金属硅化物作为其中的欧姆接触层。首先，形成非晶硅层于基板上后，避免使用氮气处理，如此在非晶硅层表面因为含有硅单键而具有活性。之后，当金属层直接形成于非晶硅层上时，金属材料即与硅单键进行结合，而于金属层与非晶硅层之间的接口形成金属硅化物。利用本发明，在减低非晶硅层厚度的情形下，可减少其制作工艺时间而提高产能。

主权项

1.一种液晶显示器的薄膜晶体管的制造方法，至少包含：形成一栅极层于一基板上；形成一第一绝缘层覆盖于该栅极层上；形成一非晶硅层于该绝缘层上；形成一金属层于该非晶硅层上，并且同时在该金属层于该非晶硅层的界面形成一金属硅化物；去除部分该金属层以形成一开口，其中该开口还暴露出该金属硅化物的一部份；以及去除该开口中的该金属硅化物的该部分。