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发明名称 Lithographic apparatus and device manufacturing method
摘要
申请公布号 EP1519231(B1) 申请公布日期 2005.12.21
申请号 EP20030256096 申请日期 2003.09.29
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 STREEFKERK, BOB;MULKENS, JOHANNES, CATHARINUS, HUBERTUS
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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