发明名称 输送机构的基准位置的修正装置及修正方法
摘要 在输送容器(10)内设置有输送机构(22)。该输送机构具有:以可以在水平方向上移动的方式设置的移动体(38)、以可以水平旋转以及升降的方式相对于该移动体安装的旋转基台(48)、相对于该旋转基台可以水平地伸屈的2个臂机构。用于该输送机构的基准位置修正装置备有:射出以及接受检查光(L)的发光部(66)以及受光部(68)、修正机构(62),所述发光部(66)以及受光部(68)相对于输送容器位置固定。修正机构基于与旋转基台的移动以及旋转对应的、由受光部进行的通光与遮光的检测,而修正旋转基台的水平、垂直以及旋转的各方向的基准位置、和臂机构的伸屈方向的基准位置。相对于旋转基台,安装有伴随着其移动以及旋转而产生检查光的通光与遮光的切换的遮光部件。
申请公布号 CN1711155A 申请公布日期 2005.12.21
申请号 CN200380103380.1 申请日期 2003.11.13
申请人 东京毅力科创株式会社;神钢电机株式会社 发明人 佐伯弘明;神垣敏雄
分类号 B25J13/08;B65G49/07;H01L21/68 主分类号 B25J13/08
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 温大鹏;胡强
主权项 1.一种修正装置,是用于输送机构的基准位置修正装置,所述输送机构具有:以可以在水平方向上移动的方式设置在输送容器内的移动体、以可以水平旋转以及升降的方式相对于该移动体安装的旋转基台、经由互相离开的垂直的转动轴而相对于该旋转基台安装并可以水平地伸屈的2个臂机构、安装在各臂机构的前端部上并保持被输送体的拾取器,其特征在于,备有:发光部,相对于前述输送容器位置固定,并向相对于前述移动体的移动方向交叉的水平方向射出检查光;受光部,相对于前述输送容器固定在接受前述检查光的位置上,并检测前述检查光的通光与遮光;遮光部件,相对于前述旋转基台安装,并伴随着前述旋转基台的移动以及旋转而产生前述检查光的通光与遮光的切换;修正机构,基于与前述旋转基台的移动以及旋转对应的、由前述受光部进行的通光与遮光的检测,而修正前述旋转基台的水平、垂直以及旋转的各方向的基准位置、和前述臂机构的伸屈方向的基准位置。
地址 日本东京都