| 发明名称 | 一种分割一半导体集成电路图案的方法 | ||
| 摘要 | 一种分割一半导体集成电路图案的方法；该半导体集成电路图案包含有多个相同图形的单元(cel1)以及一多边形平面(polygonal planar)位于各该单元邻接处；该方法是先描绘一分割线以分割该多边形平面为多个单位图形(unit figure)，且该分割线是沿着该多边形平面的一水平方向边线描绘，并于各该转角处延伸一垂直方向线段至另一水平方向边线。 | ||
| 申请公布号 | CN1233032C | 申请公布日期 | 2005.12.21 |
| 申请号 | CN02126997.1 | 申请日期 | 2002.07.30 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 杨春晖;王见明;赖建文;蔡澄贤 |
| 分类号 | H01L21/70 | 主分类号 | H01L21/70 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 1.一种分割一半导体集成电路图案的方法，该图案包含有多个相同图形的单元以及一多边形平面位于各该单元邻接处，并且该多边形平面包含有二互相平行的水平方向边线以及多个转角，该方法包含有下列步骤：描绘一分割线以分割各该单元邻接处的该多边形平面为多个单位图形，其中该分割线是沿着该多边形平面的一水平方向边线描绘，并且于各该转角处延伸一垂直方向线段至另一水平方向边线。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||