| 主权项 |
1.一种流速控制装置，包括：脉动消减机构(24)，用于使来自压力调节部分(54)的调节后的控制压力与流过流体通道(36)的压力流体的主压力平衡，以便减小由所述压力流体的脉动引起的压力波动；以及流速控制机构(26)，该流速控制机构(26)有阀塞(102)，用于打开/关闭所述流体通道(36)，通过由根据控制单元发出的控制信号进行控制的线性致动器(112)来调节所述阀塞(102)的阀提升量，所述流速控制机构(26)控制流过所述流体通道(36)的所述压力流体的流量；所述脉动消减机构(24)和所述流速控制机构(26)通过接头部分(22)而装配成一体，所述接头部分(22)设有所述流体通道(36)，该流体通道用于使布置在所述接头部分(22)一侧的第一孔(28)和布置在所述接头部分(22)的另一侧的第二孔(32)连通；所述脉动消减机构(24)包括：压力调节部分(54)，用于将从压力流体供给孔(50)引入的压力流体调节成有预定压力；脉动平衡部分(58)，该脉动平衡部分(58)有阀部件(62)，用于根据来自所述压力调节部分(54)的所述压力流体而打开/关闭所述流体通道(36)；所述阀部件(62)包括：滑板(68)，该滑板(68)布置成可在第一隔膜(64)和第二隔膜(66)之间移动；阀塞(56)，该阀塞(56)与所述滑板(68)相连；密封件(74)，该密封件(74)安装在所述滑板(68)的外表面上；以及中间部件(78)，该中间部件(78)在所述滑板(68)和所述阀塞(56)之间。 |
