| 发明名称 |
DEVICE FOR AND METHOD OF GENERATING EXTREME ULTRAVIOLET AND/OR SOFT X-RAY RADIATION BY MEANS OF A PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1606980(A2) |
申请公布日期 |
2005.12.21 |
| 申请号 |
EP20040718711 |
申请日期 |
2004.03.09 |
| 申请人 |
PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
ZINK, PETER |
| 分类号 |
H05G2/00;(IPC1-7):H05G2/00 |
主分类号 |
H05G2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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