发明名称 APPARATUS OF ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 KR20050119004(A) 申请公布日期 2005.12.20
申请号 KR20040044179 申请日期 2004.06.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, KI HWAN
分类号 H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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