APCVDatmospheric pressure chemical vapor deposition multi-layer coating apparatus for an anti-reflection purpose,申请号KR20030040641-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	APCVDatmospheric pressure chemical vapor deposition multi-layer coating apparatus for an anti-reflection purpose
摘要
申请公布号	KR100537750(B1)	申请公布日期	2005.12.20
申请号	KR20030040641	申请日期	2003.06.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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