СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КМОП-ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ,申请号SU19894746117-传众专利搜索

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发明名称	СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КМОП-ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
摘要
申请公布号	RU1649971(C)	申请公布日期	2005.12.20
申请号	SU19894746117	申请日期	1989.10.03
申请人		发明人
分类号	H01L21/82	主分类号	H01L21/82
代理机构		代理人
主权项
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