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发明名称 METHOD FOR FORMING METAL ELECTRODES SEPARATED BY A NANOMETER-SCALE GAP
摘要
申请公布号 KR20050118961(A) 申请公布日期 2005.12.20
申请号 KR20040044125 申请日期 2004.06.15
申请人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 CHANG, SUNG IL;LEE, HYUN JIN;CHOI, YANG KYU;YOON, JUN BO
分类号 H01L29/40;(IPC1-7):H01L29/40 主分类号 H01L29/40
代理机构 代理人
主权项
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