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发明名称 SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050118563(A) 申请公布日期 2005.12.19
申请号 KR20040043717 申请日期 2004.06.14
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 KIM, JONG YUN
分类号 C23C14/34;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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