发明名称 Low contamination components for saemiconductor processing apparatus and methods for making components
摘要
申请公布号 IL163917(D0) 申请公布日期 2005.12.18
申请号 IL20030163917 申请日期 2003.02.12
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人
分类号 C23C;(IPC1-7):C23C 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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