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发明名称
Low contamination components for saemiconductor processing apparatus and methods for making components
摘要
申请公布号
IL163917(D0)
申请公布日期
2005.12.18
申请号
IL20030163917
申请日期
2003.02.12
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
分类号
C23C;(IPC1-7):C23C
主分类号
C23C
代理机构
代理人
主权项
地址
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