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发明名称 Self-aligned nanotube field effect transistor and method of fabricating same
摘要
申请公布号 IL164066(D0) 申请公布日期 2005.12.18
申请号 IL20030164066 申请日期 2003.02.19
申请人 IBM CORPORATION 发明人
分类号 H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L51/00
代理机构 代理人
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