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发明名称 Surface inspection apparatus
摘要
申请公布号 IL165287(D0) 申请公布日期 2005.12.18
申请号 IL20040165287 申请日期 2004.11.18
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOPCON 发明人
分类号 G01B21/00;H01L21/00;H01L21/687;(IPC1-7):G01N 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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