半导体机台

摘要

一种半导体机台，包括一印刷电路板、一热源以及一调节装置。印刷电路板具有一第一表面以及一第二表面。热源对印刷电路板周围的一第一流体稳定提供一热量，以加热印刷电路板。调节装置调节第一表面的温度，使第一表面的温度低于第二表面的温度，以使印刷电路板的变形快速达到稳定状态。