积体电路中用以达成精确电感器之方法及设备

摘要

本发明揭示一种在积体电路中实施一精确电感组件之技艺。该电感组件具有一包括彼此介电性隔离之多层导电层结构，且位于一积体电路基材上。该电感组件至少包含由一第一导电层制成的一螺旋状电感层。此外，一些额外之接地层各从其本身选定之导电层图案化，以使其内的一感应涡电流最小，因而改进在高频操作下之Q(品质因子)，该些额外之接地层系利用介于其间的一线性或一旋转偏移，以实行一电感组件之电感值的对应调整量。各种特定设计实例系与其等各自的电感与RE效能参数一起呈现。