| 摘要 |
〔课题〕目的在于提供一种曝光装置，防止感光性树脂层所挥发的挥发物质附着于凹面镜，防止凹面镜的反射率降低。〔解决手段〕在框体5内具有光源10、平面镜21、23、复眼透镜22、凹面镜24、光罩框架31以及载置台30的曝光装置1，包括沿着设于框体5内的凹面镜24的凹面送风的送风口40、设于该送风路径的空气净化过滤器40以及将沿着设置于载置台30的地面上的凹面镜24的凹面送风的空气排出框体5外的排气孔60。又，曝光装置1更具有导风板50，在经由凹面镜24与送风口40相向的框体5的壁面上，将沿凹面镜24的凹面送风的空气导入排气孔60。 |
