供紫外线(UV)刻印用之顺应式模版

摘要

所揭系为一种顺应式UV压印微影模版，其亦可作为一热压印模版，及其制造方法。该模板主要包含一纹路影像，及一弹性体可调整该纹路影像。在一实施例中，该纹路影像系被设在可顺变的压印层中，而该弹性体则被设在该压印层与硬质透明基材之间。在一实施例中，该模版可顺应一晶圆表面。在一实施例中，系将一弹性体及一压印层叠层于一基板上，并将一纹路影像图案化于该压印层中来制成该模版。