彩色影像感测装置及其制造方法

摘要

本发明系提供一种彩色影像感测装置及其制造方法。首先，提供一基板，包括一感测画素阵列于基板之主要区域，一接触垫于基板之周边区域上。形成一保护层于基底上，覆盖感测画素阵列与接触垫。形成一第一平坦层于保护层上。形成一彩色滤光层于第一平坦层上，对应该感测画素阵列区域。形成一第二平坦层于第一平坦层上，覆盖彩色滤光层。定义一第一开口于第二平坦层中，显露出第一平坦层，第一开口位于相对应接触垫的位置，以及施以乾蚀刻制程，以形成一第二开口于第一平坦层与保护层中，显露出接触垫。如此，接触垫开口于彩色滤光层之后形成，因此可避免接触垫表面腐蚀并且可克服知技术光阻涂布不均的问题。