发明名称 含有含氟化合物之废气之处理方法及装置
摘要 一种含有含氟化合物之废气的处理方法,包括下述步骤:使含有含氟化合物之废气与在氧化铝–锆复合氧化物上载有氧化钨之金属触媒接触,然后使放出物与r–氧化铝触媒接触。
申请公布号 TW200539933 申请公布日期 2005.12.16
申请号 TW094126684 申请日期 2002.10.09
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 森洋一
分类号 B01D53/86;B01J21/04;B01J23/30 主分类号 B01D53/86
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 日本